報告時間:2023年6月7日(星期三)14:00-16:00
報告地點:學術會議中心一樓大報告廳
報 告 人:陳維邦 博士
工作單位:合肥晶合集成電路股份有限公司
舉辦單位:材料科學與工程學院
報告簡介:
介紹集成電路與產業的相關性,從基本的元件設計與制造到最后的晶片產生,結合目前產業的先進制程發展,讓學生對于所學與業界有更緊密的了解與結合。
報告人簡介:
陳維邦,晶合集成前瞻研發處長,具有先進半導體年資15年,畢業于臺灣交通大學,電子工程專業博士學位。
主要專長:High-K Metal Gate, FinFET, Embedded Flash, Device。目前主要負責開發28納米以下的MOSFET前瞻新技術,如高介電常數材料。(High-K material),多層金屬閘極結構(Metal Gate),新式硅鍺外沿的源/漏極(SiGe Source/Drain),后段銅金屬連接與低介電常數(low-K material)的工藝技術整合。同時也研究電性與制程的關聯性,進一步改善,獲得效能的增加。(Improve DIBL, GIDL, Femi-level pinning, mobility scattering, S/D engineering, BOEL RxC,Speed-IDDQ, Reliability )。同時與不同模組合作開發新制程與解決不同的制程問題,設計出不同客制化的流程,來符合不同客戶對于產品的不同的需求。
研究與榮譽:IEEE IEDM國際會議與IEEE EDL/TED 發表 12篇(一作); 美國專利獲證 10篇,中國專利授權18篇;榮獲2019中國臺灣優秀工程師獎;2021與2022晶合專利發明第一名。